RF-120系列高频电源 成模相关机器
是溅射、刻蚀、CVD、离子镀等薄膜制备/加工使用的、用于生成等离子体的13.56MHz高频电源(RF电源)。
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RF-12010 RF-12020 RF-12030 RF-12040
最大输出功率 750W 1.5kW 3kW 6kW
输出接头 N 型 LS2 型
输入电压 AC 200V ±10V, 三相, 50/60 Hz
输入电流 AC 5A AC 8A AC 20A AC 35A
振荡方式 他激式晶体振荡
振荡频率 13.56MHz ±0.005%
输出稳定度 ±0.5%以下 (最大输出功率, 对50Ω电阻负载)
波动 1%以下 (最大输出功率, 对50Ω电阻负载)
总谐波失真 - 50dB (最大输出功率时)
制冷方式 强制空冷 水冷
5~7L/分 5~6.5L/分
外观尺寸 (mm) Wide 481 481 481 481
Depth 430 504 504 510
Hight 149 199 199 349
重量(kg) 18 25 27 55


*RF-12040由单元1(149mmH/25kg)和单元2(199mmH/30kg)构成。
*外观尺寸不包括突起部分(背面的风扇等)。RF-56000  外观尺寸 : 105mm(W)×305mm(D)×145mm(H)

产品系列
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