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RF-340 系列匹配网络自动整合装置 成模相关机器
和产生等离子体的13.56MHz高频电源组合，与负载进行匹配的自动调整装置(匹配箱 + 控制器) 。
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产品系列
BS/JEBG/EBG 系列电子枪
用于光学薄膜及电极膜等各种薄膜形成的电子束蒸镀用电子枪/电源。
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JST系列电子枪/电源
和偏转型电子枪结合使用，用作电子束蒸镀的高压电源。
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JEBG系列大功率电子枪/电源
JEBG系列大功率电子枪是在真空中蒸发或熔解金属及氧化物的大功率电子束发生源，能在不断输送中的宽幅塑料和大面积玻璃基板上高速率地连续镀膜，此外在电子束熔炼时，可用于高熔点金属锭的生产及提纯。
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BS-80011BPG产生高密度等离子体的内置型等离子体枪
安装在真空室内产生高密度等离子体的等离子体源。利用和真空蒸镀结合的等离子体辅助沉积技术（离子镀），能提高光学薄膜、保护膜、功能膜等的薄膜特性。另外，还可以用作等离子处理如对清洗基板和表面改性也很有效。
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BS-80020CPPS等离子体源
BS-80020CPPS是用于辅助低温（100℃以下等）下塑料基板和胶片成膜的等离子体源。
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RF-120系列高频电源
是溅射、刻蚀、CVD、离子镀等薄膜制备/加工使用的、用于生成等离子体的13.56MHz高频电源（RF电源）。
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