规格/配件
配件
ST-AS10F/ST-AS10G 放电抑制装置
电子束蒸镀时抑制异常放电。降低放电时的杂波，防止中断蒸镀过程。
ST-10F有两档放电抑制电路，ST-AS10G有一档放电抑制电路。
ST-203 电子枪同时使用装置
当一台电源同时使用两台电子枪时，需要使用该装置。两个操作盘分别为每个电子枪的专用操作盘
ST-EXTSIG 外部信号控制器
内嵌于操作盘中，除了9种标准的外部输出信号外，还能向外部输出发射电流确认信号等各种信号
电缆配置
