JXA-8230 电子探针显微分析仪 电子探针显微分析仪
可以安装通用性强、使用方便的能谱仪X射线探测器,组合使用WDS和EDS,能提供无缝、舒适的分析环境。
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可以安装通用性强、使用方便的能谱仪X射线探测器,组合使用WDS和EDS,能提供无缝、舒适的分析环境。

日本电子新开发出的EPMA (电子探针)秉承近半个世纪的EPMA的发展历史,JXA-8230具备用户友好的操作、通过新式简单易用的PC 用户界面提供完整范围的高精度、快速分析,这是JEOL长年来对高可靠性硬件不断改良的结果。JXA-8230电子探针是下一代能完全满足多种需求的强力分析工具之一。


EPMA快速启动

点击任何一点,就能开始预设的EDS定性、定量分析或WDS分析。



用户菜单(User recipes)

能保存或调用经常使用的各种不同类型的样品分析条件,菜单中包括了全部的电子光学参数、EDS和WDS参数在内。



EDS 的性能

数字化脉冲处理器

全谱面分布(WD/ED, 样品台和电子束扫描)

无风扇SDD (选配)


检测元素范围 WDS:(Be)*1 /B~U, EDS:B~U
X射线检测范围 WDS检测的波长范围:  0.087~9.3nm,
EDS EDS检测的能量范围:  20keV
分光谱仪数量 WDS: 1~5道可选、EDS: 1台
最大样品尺寸 100mm × 100mm × 50mm(H)
加速电压 0~30kV(以0.1 kV为步长)
束流电流范围 10-12 ~ 10-5 A
束流电流稳定度 5%/h, ±0.3%/12h(W)
二次电子分辨率 6nm(W), 5nm(LaB6)*2
(W.D. 11mm, 30kV)
扫描倍率 ×40 ~  ×300,000(W. D. 11mm)
扫描图像分辨率 最大 5,120× 3,840
彩色显示器 EPMA分析用: LCD 1,280 × 1,024
SEM操作、 EDS分析用:  LCD 1,280 × 1,024
光学显微镜
分辨率 ~1um
焦深 1um
真空系统 机械泵、分子泵、离子泵                           *2
真空度 样品室:  优于8.0 x 10-4Pa,
电子枪:  优于9.0 x 10-5Pa
产品系列
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